KYOSAN 射频电源 RFK50Z 13.56MHz 5KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。RFK Series 射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射频电源广泛应用在半导体制程的薄膜工艺中，具有优良可靠的成膜能力，快速成膜。

KYOSAN 射频电源 RFK50Z 13.56MHz 5KW RF Generator 参数规格

设备匹配：KYOSAN

设备型号：RFK50Z-TE8-RF

AC 电源输入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz

RF 射频输出：13.56MHz，5KW                                                                                                                                                                  

谐波失真：≤ -45dB

输出：MOS-FET

输出接口：HN type

散热方式：水冷散热

水冷进水流速：6L/min

设备重量：32kg