KYOSAN 射频电源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW
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KYOSAN 射频电源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW
KYOSAN 射频电源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW

KYOSAN RFK30ZCPS1KYOSAN 射频电源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-23 13:07:39
328
属性：
供货周期:现货；货号:WB1024；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；品牌:KYOSAN；型号:RFK30ZCPS1；L/N:WB1024；频率:13.56MHz；输出功率:3KW；设备状态:Refurblished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
WB1024
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
品牌
KYOSAN
型号
RFK30ZCPS1
L/N
WB1024
频率
13.56MHz
输出功率
3KW
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

KYOSAN 射频电源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。

详细介绍

KYOSAN 射频电源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。RFK 系列射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。RFK系列射频电源广泛应用在半导体薄膜工艺中，具有优良可靠的成膜能力，可在一定程度上提升产线效率。

KYOSAN 射频电源 RFK30ZCPS1 13.56MHz 3KW RF Generator 规格参数

设备型号：RFK30ZCPS1

AC 电源输入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，19A

RF 射频输出：13.56MHz，3KW

谐波失真：≤ -45dB

输出：MOS-FET                    

输出接口：HN type                                                          

散热方式：水冷散热

水冷进水流速：6L/min

设备重量：41kg

通信接口：RS-232C、INTERFACE


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