KYOSAN 射频电源 RFK-75Z 13.56MHz 7.5KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。RFK Series 射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射频电源在半导体薄膜工艺中可以凭借其较快的成膜能力提高产线效率，此外严格的设计和制造工艺也决定该型射频电源具有精准的射频控制能力。

KYOSAN 射频电源 RFK-75Z 13.56MHz 7.5KW RF Generator 规格

设备型号：RFK-75Z-UV1

AC输入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，46A

RF输出：13.56MHz，7.5KW

谐波失真：≤ -45dB

输出：MOS-FET

输出接口：HN type                                                                                                                    

散热方式：水冷散热

水冷进水流速：6L/min

设备重量：86kg