KYOSAN 射频电源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW
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KYOSAN 射频电源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW
KYOSAN 射频电源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW

RFK150ZD-TE7-DCKYOSAN 射频电源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-11-23 13:04:58
192
属性：
供货周期:现货；货号:WH4239；应用领域:化工,电子,电气,综合；主要用途:RF GENERATOR；品牌:KYOSAN；型号:RFK150ZD-TE7-DC；L/N:WH4239；频率:13.56MHz；输出功率:15KW；设备状态:Refurblished；
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产品属性
供货周期
现货
货号
WH4239
应用领域
化工,电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
品牌
KYOSAN
型号
RFK150ZD-TE7-DC
L/N
WH4239
频率
13.56MHz
输出功率
15KW
设备状态
Refurblished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

KYOSAN 射频电源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。

详细介绍

KYOSAN 射频电源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW RF Generator 是经过长期验证的具有高可靠性的射频发生器，是面向核心等离子体应用的业界前沿的可重复电源。RFK Series 射频电源整体采用紧凑型的外观设计，能够有效的降低客户的使用成本。设备主要运用于等离子蚀刻，CVD和溅射等应用，坚固耐用，为等离子工艺提供了优秀的可靠性。KYOSAN RFK系列射频电源具有优良的成膜能力，在半导体薄膜工艺中较快的成膜速度，能够在一定程度上提高产线效率，降低能源损耗，提高效益。

KYOSAN 射频电源 RFK150ZD 13.56MHz 15KW 参数规格

设备型号：RFK150ZD-TE7-DC

AC输入：3 phase ~ ，200 ~ 220V，50/60Hz，65A，25kA

RF输出：13.56MHz，15KW

谐波失真：≤ -45dB                                                                                       

输出：MOS-FET                                         

输出接口：HN type

散热方式：水冷散热

水冷进水流速：8L/min

设备重量：44kg

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