MKS 高频射频电源 EDGE 10060A-E13 RF Generator 是专为薄膜加工设备提供的可靠的固态电源，是制造现代计算机和电子设备所需的集成电路或芯片的半导体制造系统的重要部件。MKS EDGE Series射频电源广泛的应用于半导体制程中，如CVD、PVD、PECVD等，输出稳定可靠，具有优秀的成膜能力，在半导体薄膜工艺中，该型射频电源成膜速度快，能够在一定程度上提高产线效率，同时能够实现对射频输出的精密控制，保证产品良率。

MKS 高频射频电源 EDGE 10060A-E13 参数规格

品牌：MKS

设备型号：EDGE 10060A-E13

AC 电源输入：3 phase~，200~208V，55A，50/60Hz

RF 射频输出：10000W，57.0~63.0MHz

通信接口：Interlock、RS-232C，CEX，ECAT，ETHERNET

设备散热：水冷散热                                                                                                                                                                                                        

水冷进水需求：MIN水流速度 1.5Gal/min；MAX水流压力 80PSI