AE 射频电源 RFG 1250 13.56MHz 1250W RF Generator 是经过长期现场验证的具有稳定输出性能的高可靠性射频电源，该型射频电源在实际运行操作过程中体现出了优良的工艺稳定性和控制能力，能够实现队射频输出的精准控制。射频电源整体上采取了紧凑型的设计，可以减少在机台中的空间占用，降低客户的使用成本。 AE RFG 系列射频电源具有优良可靠的成膜能力，因而被广泛应用在半导体制程的薄膜工艺中，RFG系列射频电源的成膜速度快，能够提高产线中的成膜效率。

AE 射频电源 RFG 1250 13.56MHz 1250W 参数规格

设备品牌：AE（Advanced Energy）

设备型号：RFG 1250                                                                                                                                                     

AC 电源输入：3 phase~/PE，208V~ ，10A，50/60Hz，2.0KW

RF 射频输出：13.56MHz，1250W                                                                                                     

通讯接口：Control，CEX In/Out

设备散热：水冷散热