Advanced Energy/优仪 品牌
经销商厂商性质
扬州市所在地
AE 射频电源 RFG 5500 MN3155051-015
面议AE 射频电源 Paramount MF 15002 15KW
面议AE 射频电源 RFG 3001 13.56MHz 3KW
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-5A 13.56MHz 500W
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-10G 13.56MHz 1KW
面议DAIHEN 射频电源 NX-RGA-50G1 13.56MHz 5KW
面议MKS 射频电源 Spectrum B-5002 1.8-2.17MHz
面议AE 射频电源 RFG 1251 13.56MHz 1250W
面议AE 射频电源 RFG 1250 13.56MHz 1250W
面议AE 射频电源 RFG 2000-2V 13.56MHz 3KW
面议KYOSAN 射频电源 JFK125TP-TC2
面议MKS 射频电源 EDGE4001A 3000W
面议AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是经过现场验证的具有可靠性能和稳定输出能力的优秀射频发生器,在实机验证中体现出了优秀的工艺稳定性和输出控制能力。该型射频电源能够实现对射频输出的精准控制,广泛应用在半导体制程溅射、CVD、PECVD、蚀刻等工艺中,且具有优秀表现。Cesar 系列射频电源具有优秀的成膜能力,在半导体薄膜工艺中,具有成膜速度快,效率高,质量好的优点,在一定程度上能够提升产线效率和成品良率,具有十分广泛的应用。
AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 参数规格:
设备品牌:AE(Advanced Energy)
设别型号:Cesar 0230
AC 电源输入:3 phase~ +PE,200V~ ,50/60Hz,20.0A
RF 射频输出:3000W,~615V,2MHz
通讯接口:RS-232,User Port,Matchbox,Diagnostic
设备散热:风冷+水冷散热