AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W
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AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W
AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W

AE CESAR 0230AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-06-02 15:27:09
523
属性:
供货周期:现货;货号:60200055;应用领域:电子,电气,综合;主要用途:RF GENERATOR;品牌:AE;型号:CESAR?0230;M/N:60200055;频率:2MHz;输出功率:3000W;设备状态:Refurbished;
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产品属性
供货周期
现货
货号
60200055
应用领域
电子,电气,综合
主要用途
RF GENERATOR
品牌
AE
型号
CESAR?0230
M/N
60200055
频率
2MHz
输出功率
3000W
设备状态
Refurbished
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江苏神州半导体科技有限公司

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产品简介

AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是经过长期现场验证的具有优良性能和可靠性的射频发生器。

详细介绍

AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 是经过现场验证的具有可靠性能和稳定输出能力的优秀射频发生器,在实机验证中体现出了优秀的工艺稳定性和输出控制能力。该型射频电源能够实现对射频输出的精准控制,广泛应用在半导体制程溅射、CVD、PECVD、蚀刻等工艺中,且具有优秀表现。Cesar 系列射频电源具有优秀的成膜能力,在半导体薄膜工艺中,具有成膜速度快,效率高,质量好的优点,在一定程度上能够提升产线效率和成品良率,具有十分广泛的应用。

AE 射频电源 Cesar 0230 2MHz 3000W RF Generator 参数规格:

设备品牌:AE(Advanced Energy)

设别型号:Cesar 0230

AC 电源输入:3 phase~ +PE,200V~ ,50/60Hz,20.0A

RF 射频输出:3000W,~615V,2MHz

通讯接口:RS-232,User Port,Matchbox,Diagnostic

设备散热:风冷+水冷散热                                                                          


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