9月，这些MEMS技术新国家标准实施！2023年预计将有7项新MEMS技术标准落地！还有10项MEMS新国家标准正在起草！

  据全国标准信息公共服务平台网站显示，全国微机电技术标准化技术委员会SAC/TC336（简称“微机电标委会”）——MEMS技术国家标准主要归口单位，发布多项MEMS技术国家标准制定情况。
  目前，我国MEMS技术国家标准正在实行/即将实施的有31项，10项标准已上升为IEC国际标准。其中3项标准自9月1日开始正式实施，分别是：

  GB/T 42191-2023MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

  GB/T 42597-2023 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪

  GB/T 26111-2023微机电系统（MEMS）技术术语

其中《GB/T 26111-2023 微机电系统（MEMS）技术术语》 标准主要界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义，适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
该标准文件，全部替代实施于2011年1月的旧标准GB/T 26111-2010。
此外，《GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》和《GB/T 42597-2023 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪》均为新设立的标准。
《GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法》文件描述了 MEMS 压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法，适用于 MEMS 压阻式压力敏感器件。
《GB/T 42597-2023 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪》文件规定了陀螺仪的术语和定义、额定值、性能参数及测量方法。陀螺仪主要用于消费电子、工业和航空航天等。陀螺仪广泛采用MEMS和半导体激光器技术。
另有3项MEMS标准已通过审核将在今年12月实施，分别是：

GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法

GB/T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法

GB/T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
值得一提的是，还有10项MEMS新标准正在起草制定中，这些标准的制定计划都是在2022年下达的。
全国微机电技术标准化技术委员会成立于2008年，目前包括即将实施的标准在内，共有31项MEMS标准，可见近年来我国MEMS标准建设正在加速。