Precision RF Pulse Sensors 7037类别:半导体制程射频功率量测系统

简介:7037系列RF脉冲功率传感器拥有0.5%的测是精度，它为实验室和半导体Fab测试带来惊人的可追溯精度，在校准的频率下，精度为0.5%6，可用于测是RF脉冲波形内的门控功率。

7037系列

适用于半导体应用的精度为0.5%的精密脉冲功率传感器精-湛的准确性!

7037系列RF脉冲功率传感器为实验室和半导体fab环境带来惊人的可追溯精度。旨在为研发和工艺工程师提供易用性和可靠的数据在校准的频率下，这些传感器的精度为0.5%，可用于测量RF脉冲波形内的门控功率。校准可追溯到美国国家标准技术研究院(NIST)，因此您可以对这些传感器提供的测量的质量和准确性充满信心。

产品特点

时域显示

多电平脉冲内多达4个状态的平均功率测量

在校准频率下，在整个动态范围内能够实现±0.5%的功率测量精度，

NIST可追溯校准

谐波滤波

外部同步输入

射频互锁(可选)

可通过SCPI命令集编程

优点:

通过射频发生器的校准和验证，这些高精度传感器使人们对射频发生器的输出充满信心。使用VPM3-MSP软件记录和分析来自实验配方的RF功率数据，以简化流程开发。现场过程监视允许在运行时实时监视过程以检测异常。RF脉冲波形的时域分析可以更仔细地观察高功率RF脉冲