适用于质量流量计以及质量流量控制器的气体流量转换系数
时间：2022-09-23 阅读：6481
有些用户在使用质量流量计/流量控制器的过程中，会涉及到需要转换不同的气体介质。
但不同气体的特性是不同的，所以不同气体显示出的体积流量也会有差别，这种差别需要通
过气体转换系数换算，因此在更换气体后，为了使质量流量计或质量流量控制器显示其正确
的体积流量（标方，标升、毫升等单位），需要针对相应的气体介质，调整气体转换系数。
以下是部分气体的转换系数：
| 气体 | 代号 | 比热（卡/克℃） | 密度（克/升0℃） | 转换系数 |
| Air 空气 | 008 | 0.2400 | 1.2930 | 1.006 |
| Ar 氩气 | 004 | 0.1250 | 1.7837 | 1.415 |
| AsH3 砷烷 | 035 | 0.1168 | 3.4780 | 0.673 |
| BBr3 三溴化硼 | 079 | 0.0647 | 11.1800 | 0.378 |
| BCl3 三氯化硼 | 070 | 0.1217 | 5.2270 | 0.430 |
| BF3 三氟化硼 | 048 | 0.1779 | 3.0250 | 0.508 |
| B2H6 硼烷 | 058 | 0.5020 | 1.2350 | 0.441 |
| CCl4 四氯化碳 | 101 | 0.1297 | 6.8600 | 0.307 |
| CF4 四氟化碳 | 063 | 0.1659 | 3.9636 | 0.420 |
| CH4 甲烷 | 028 | 0.5318 | 0.7150 | 0.719 |
| C2H2 乙炔 | 042 | 0.4049 | 1.1620 | 0.581 |
| C2H4 乙烯 | 038 | 0.3658 | 1.2510 | 0.598 |
| C2H6 乙烷 | 054 | 0.4241 | 1.3420 | 0.481 |
| C3H4 丙炔 | 068 | 0.3633 | 1.7870 | 0.421 |
| C3H6 丙烯 | 069 | 0.3659 | 1.8770 | 0.398 |
| C3H8 丙烷 | 089 | 0.3990 | 1.9670 | 0.348 |
| C4H6 丁炔 | 093 | 0.3515 | 2.4130 | 0.322 |
| C4H8 丁烯 | 104 | 0.3723 | 2.5030 | 0.294 |
| C4H10 丁烷 | 111 | 0.4130 | 2.5930 | 0.255 |
| C5H12 戊烷 | 240 | 0.3916 | 3.2190 | 0.217 |
| CH3OH 甲醇 | 176 | 0.3277 | 1.4300 | 0.584 |
| C2H6O 乙醇 | 136 | 0.3398 | 2.0550 | 0.392 |
| C2H3Cl3 三氯乙烷 | 112 | 0.1654 | 5.9500 | 0.278 |
| CO 一氧化碳 | 009 | 0.2488 | 1.2500 | 1.000 |
| CO2 二氧化碳 | 025 | 0.2017 | 1.9640 | 0.737 |
| C2N2 氰气 | 059 | 0.2608 | 2.3220 | 0.452 |
| Cl2 氯气 | 019 | 0.1145 | 3.1630 | 0.858 |
| D2 氘气 | 014 | 1.7325 | 0.1798 | 0.998 |
| F2 氟气 | 018 | 0.1970 | 1.6950 | 0.931 |
| GeCl4 四氯化锗 | 113 | 0.1072 | 9.5650 | 0.267 |
| GeH4 锗烷 | 043 | 0.1405 | 3.4180 | 0.569 |
| H2 氢气 | 007 | 3.4224 | 0.0899 | 1.010 |
| HBr 溴化氢 | 010 | 0.0861 | 3.6100 | 1.000 |
| HCl 氯化氢 | 011 | 0.1911 | 1.6270 | 1.000 |
| HF 氟化氢 | 012 | 0.3482 | 0.8930 | 1.000 |
| HI 碘化氢 | 017 | 0.0545 | 5.7070 | 0.999 |
| H2S 硫化氢 | 022 | 0.2278 | 1.5200 | 0.844 |
| He 氦气 | 001 | 1.2418 | 0.1786 | 1.415 |
| Kr 氪气 | 005 | 0.0593 | 3.7390 | 1.415 |
| N2 氮气 | 013 | 0.2468 | 1.2500 | 1.000 |
| Ne 氖气 | 002 | 0.2464 | 0.9000 | 1.415 |
| NH3 氨气 | 029 | 0.5005 | 0.7600 | 0.719 |
| NO 一氧化氮 | 016 | 0.2378 | 1.3390 | 0.976 |
| NO2 二氧化氮 | 026 | 0.1923 | 2.0520 | 0.741 |
| N2O 一氧化二氮 | 027 | 0.2098 | 1.9640 | 0.709 |
| O2 氧气 | 015 | 0.2196 | 1.4270 | 0.992 |
| PCl3 三氯化磷 | 193 | 0.1247 | 6.1270 | 0.358 |
| PH3 磷烷 | 031 | 0.2610 | 1.5170 | 0.691 |
| PF5 五氟化磷 | 143 | 0.1611 | 5.6200 | 0.302 |
| POCl3 三氯氧磷 | 102 | 0.1324 | 6.8450 | 0.302 |
| SiCl4 四氯化硅 | 108 | 0.1270 | 7.5847 | 0.284 |
| SiF4 四氟化硅 | 088 | 0.1692 | 4.6430 | 0.348 |
| SiH4 硅烷 | 039 | 0.3189 | 1.4330 | 0.599 |
| SiH2Cl2 二氯氢硅 | 067 | 0.1472 | 4.5060 | 0.412 |
| SiHCl3 三氯氢硅 | 147 | 0.1332 | 6.0430 | 0.340 |
| SF6 六氟化硫 | 110 | 0.1588 | 6.5160 | 0.264 |
| SO2 二氧化硫 | 032 | 0.1489 | 2.8580 | 0.687 |
| TiCl4 四氯化钛 | 114 | 0.1572 | 8.4650 | 0.206 |
| WF6 六氟化钨 | 121 | 0.0956 | 13.2900 | 0.215 |
| Xe 氙气 | 006 | 0.0397 | 5.8580 | 1.415 |