质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气相色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。

 

　　质量流量控制器的运用：

　　热质量流量计一般用以监控或操纵与品质有关的全过程，比如在于未反映成份的相对质量的化学变化，比如秘方，原材料均衡明确及其进出口贸易工作交接实际操作。因为这些是制造厂中十分重要的总流量测量，因而气体流量测量的稳定性和精确性非常重要。

　　热质量流量计一般用以监控或操纵与品质相关的进程，比如在于未反映成份的相对质量的化学变化。在检验可压缩性蒸汽和废气的气体流量时，测量不会受到工作压力和/或温度转变的危害。热质量流量计的功用之一是测量低气体流速或低气体流速（每分25英寸下列），远少于一切其他设备能够检验到的水准。

　　质量流量控制器是靠流体流过管道时发生震动的科里奥利基本原理来做到精确测量目地，因而质量流量计的安装情况应该是无应力状态，蒸汽流量计安装应与管道在同一中心线上，并且应在质量流量计传感器周边做支撑点，不能用传感器来支撑点管路，这样可以清除震动，降低偏差。

　　挑选的安装地址应避开大变压器或电动机，由于传感器与压力变送器中间衔接的电缆线被例如电机等射出的磁场遮盖或挨近，就会导致影响，使读值不准确而造成偏差。也有，安装时要依据流体不一样特性而选用不一样的安装房屋朝向，也就是要持续保持传感器管道里流体处在充斥着情况。

　　携带汽泡。用以液体流量测量时，当雾沫状汽体含量超出1％～5％的容积含量时，质量流量计将停止工作。这种汽泡损耗了用于造成科氏力的总流量管的震动，应将汽体清除在传感器以前。假如难以达到，则尽量减少汽体含量（尽量提升传感器内的工作压力），以确保汽泡被匀称地分散化为较小的汽泡（保证较高的液态流动速度）。