用户需求：控制水蒸气的流量

选用设备：ACU20FD高精度质量流量控制器

过程描述：在蒸汽发生器内注入适量的水并维持 1-SKPa 的绝压， 使得容器内的水气化温度低至35-40℃，立为了防止水蒸气液化，流通

      管道上设有伴热50℃。通过ACU20FD质量流量控制器可将水蒸气控制在0.2-10sccm。

方案优点：

   ①  通过抽真空使水容器内保持负压（本案例为绝压 1-5KPa) ，使得水的气化温度低至35-40℃，避免了在高温条件下的流量控制       和测量，可以让用户有更多的产品选择。

     ②ACU20FD质量流量控制器可以在精度更高、 出口压力更小的情况下，把水蒸汽流量精确控制在0.2-10sccm 的量程范围内。