气体流量的定量控制
时间:2024-08-30 阅读:882
气体流量控制器在一些应用中需要用到充气量的累积值,那么如何精准控制累积充气量呢?
在我司的MFC功能中,设置了到累积流量值后自动设定瞬时流量值为0 的功能。
首先在表体内设定所需要的累积流量(累积气量),然后设定进气的实时流量(瞬时流量),MFC会开启累积功能,当累积流量达到所设定目标值后,就会自动停止供气。
这种控制方式既可以在表体屏幕上操作也可以通过电脑等上位机控制,配备有485Modbus通讯。
此款流量控制器的其它技术参数如下:(另有0.5%FS精度可选)
技术指标:
ACU10FD-LC 质量流控制器
量程范围:2SCCM ~ 300SLM
控制器阀控范围: 50:1
准确度:±1.0%F.S
线性:±0.5%F.S
重复精度::±0.2%F.S
响应时间:<1.5S
数字量:RS232/485,MODBUS 协议
模拟量:0 ~ 5V、4-20mA、1 ~ 5V
供电:±15VDC,24VDC
工作温度:0 ~ 50℃
工作压差:0.05 ~ 0.5MPa;
最大耐压:3MPa/10MPa
电气连接:DB15 孔
漏率:1×10-9SCCSHe
温度系数:±0.025%F.S/℃
底座材质:不锈钢
密封材质:氟橡胶,氯丁橡胶,丁腈橡胶
接头:φ3,φ6,1/8",1/4",1/2"。。。卡套,VCR..(可按客户要求匹配)
如果有其它定制参数请与页面的产品经理沟通。