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一、多路气体配置、配气、混气流量的控制柜/箱 产品概述:
-- 主要用于多种气体混合配气;外观简洁、体积小,操作简单、灵活;
-- 可配置多条气路,每条气路可单独配置气体质量流量控制器(MFC);
(我司的气体流量控制器量程范围:0~2SCCM~6000SLM);
-- 集成了嵌入式触摸控制显示屏,控制每个气路的流量;
-- 操作灵活、可塑性强,可以根据需求调整、更换每个气路的气体流量控制器;
-- 箱体内的气体流量控制器,可根据实际需求选配;
-- 连接管路采用不锈钢(可根据实际需求配置成软管);
-- 耐压 3Mpa,10Mpa(更高压力请具体沟通)
二、多路气体配置、配气、混气流量的控制柜/箱 主要适用于:
多气路气体流量控制,气体配气、气体配置、稀释、混气等使用场景。
( 如需个性化定制,请另行咨询沟通)