扫描电子显微镜（SEM）是进行材料分析的一种大型的电子显微镜成像系统，其工作原理是利用阴极发射的电子束经阳极加速，磁透镜聚焦后，轰击到样品表面，激发出多种物理信息，经过收集放大在显示屏上得到相应的图形。

 

扫描型是用细的电子束扫描样品，而不是像透射型那样照射整个样品，并根据与施加电子束的坐标有关的信息构造并显示图像。将要观察的样品置于高真空（10-3 Pa或更高）中，并用电子束（聚焦直径约为1-100nm）扫描表面，该电子束会被电场或磁场收窄。尽管扫描是线性的，但是通过顺序移动扫描轴可以获得整个样本表面上的信息。

 

扫描电子显微镜（SEM）的应用：

（1）在焊点或互连失效分析方面，SEM主要用来做失效机理的分析，具体说来就是观察焊点金相组织，测量金属间化合物，进行断口分析。可焊性镀层分析以及锡须分析测量。

（2）金属断口分析，金属断口可提供材料断裂原因及过程等信息。

（3）显微结构分析，原始材料及其制品的显微形貌、孔隙大小等将决定其最后的性能。扫描电子显微镜可以清楚地反映和记录这些微观特征，是观察分析样品微观结构方便、易行的有效方法，样品无需制备，只需直接放入样品室内即可放大观察。