产品特点：

1. Z轴光學尺分辨力为0.1μm。

2. X、Y轴採用空气轴承、花岗石导向，保证了机械系统的精确稳定，提高了测量精度。

3. X、Y、Z三轴伺服控制，定位精度高、速度快，运行平稳。

4. 同轴光/底光测量。

5. 内建偏光测量光学模块。

6. 自主开发QMS3D-M軟體，高清晰进口1/2"彩色摄像机。

7. 可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，可适应复杂工件的测量。

8. 可实现Z轴自动对焦。

9. 具有偏光和DIC检测功能。

10. 可搭配白光奈米检测模块测量奈米级厚度。

注意事项：

1.关机时要将亮度调到最小。

2.调焦时注意不要使物镜碰到试样，以免划伤物镜。

3.更换卤素灯时要注意高温，以免灼伤；注意不要用手直接接触卤素灯的玻璃体。

4.亮度调整切忌忽大忽小，也不要过亮，影响灯泡的使用寿命，同时也有损视力。

5.不经常使用的光学部件放置于干燥皿内。

6.非专业人员不要尝试擦物镜及其它光学部件。目镜可以用脱脂棉签蘸1:1比例（无水酒精：乙醚）混合液体甩干后擦拭，不要用其他液体，以免损伤目镜。