SEM扫描显微镜（ScanningElectronMicroscope，简称SEM）是一种利用电子束扫描样品表面，通过收集和分析电子与样品相互作用产生的信号来观察样品表面形貌和进行成分分析的现代电子显微镜。其基本构造主要包括以下几个主要部件：

 

　　1.电子光学系统

 

　　电子枪：作为电子束的发射源，常用的有热场发射电子枪和冷场发射电子枪，它们能够产生速度一致、路径平行的高能电子束。

 

　　聚光系统：包括一系列电磁透镜，如聚焦透镜和物透镜，用于对电子束进行聚焦和调制，确保电子束能够精确地照射在样品表面的微区上。

 

　　扫描系统：主要由扫描线圈组成，能够偏转电子束，使其按照设定的轨迹在样品表面进行二维扫描。

 

　　2.信号检测系统

 

　　该系统负责收集电子束与样品相互作用后产生的各种物理信号，如二次电子、背散射电子、特征X射线等。这些信号随后被转换为电信号，用于后续的图像处理和显示。

 

　　3.图像处理系统

 

　　对信号检测系统收集到的信号进行处理和放大，通过复杂的算法将这些信号转换为可视化的图像。这些图像能够清晰地展示样品表面的形貌、成分分布等信息。

 

　　4.显示系统

 

　　将处理后的图像显示在显像管的荧光屏上或其他显示设备上，供用户观察和分析。

 

　　5.样品室

 

　　包含一个支持样品的台面，通常具有多轴移动系统，以便用户能够方便地调整样品的位置和角度，以获得最佳的观测效果。

 

　　6.真空系统

 

　　用于维持显微镜内的真空环境，确保电子束在传播过程中不受气体分子的干扰，从而提高图像的分辨率和清晰度。

 

　　7.电源系统

 

　　为SEM的各个组成部件提供稳定的工作电源，包括发射电源、透镜电源、检测电源等，确保整个系统的正常运行。

 

　　综上所述，SEM扫描显微镜的基本构造是一个高度复杂且精密的系统，各部件之间协同工作，共同完成了对样品表面形貌和成分的观测与分析任务。