半导体计量透射电镜 Metrios AX TEM

半导体计量透射电镜 Metrios AX TEM

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-08-28 13:46:01
456
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价格区间:面议；仪器种类:热场发射；应用领域:环保,化工；
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仪器种类
热场发射
应用领域
环保,化工
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赛默飞电子显微镜

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产品简介

半导体计量透射电镜 Metrios AX TEM
全新设计，提供可重复的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具备计量能力的计量器。

详细介绍

半导体计量透射电镜 Metrios AX TEM

用于半导体计量和工艺表征的高生产率透射电子显微镜

半导体计量透射电镜 Metrios AX TEM主要特点

一致、可重复、精确

全新设计，提供可重复的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具备计量能力的计量器。

计量准确度

TEM 和 STEM 失真和放大率校正的组合误差小于 0.75%。

自动化 EDS 和混合计量

通过自动化获取和量化 EDS 数据。使用关键尺寸元件对比度来扩展 STEM。

工作流程连通性

通过样品制备、提取和成像跟踪关键工艺数据。计量可离线应用，从而极大增加工具采集时间。所有成像和计量数据均整合在基于网络的图像查看器中。

规格

高压范围 (kV)

60-200 kV

信息限度 200 kV (nm)

0.11


未校正

探头校正*

STEM HAADF 分辨率 (nm) 200 kV

  • ≤ 0.164

  • ≤ 0.083

STEM HAADF 分辨率 (nm) 80 kV

  • ≤ 0.31

  • ≤ 0.11

用于水平和垂直的 MetroCal 晶片的计量精密度

  • ≤ 0.3 nm 3σ


电子源

  • X-CFEG 或 XFEG


超稳定电子设备和高压

  • 包含


隔音罩

  • 包含


恒定功率透镜

  • 包含


压电载物台

  • 包含


探头校正器兼容

  • 是




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