用途：

支持多种应用程序

支持WL-CSP、IGBT、CIS等的光刻6/8/12英寸。

特长：

1. 宽带曝光（与配方联动的自动切换ghi线gh线，i线）。

2. 搭载可变NA功能（0.16和0.1的可变）。

3. 最多8个字段的条形图设计格式。

4. 由抗蚀气体和周边环境化学保护的光学系统。

   规格：

   
   

   型式	PPS-8200/8300
   ウェーハサイズ	6/8/12インチ
   解像力	2.0 µmL/S(2.0 µm レジスト厚)
   NA（开口数）	0.16、0.1可変
   缩小比	1:1
   Fieldサイズ	52mm × 33mm
   露光波长	ghi-Line gh-line i-line(レシピ连动)
   レチクルサイズ	6inch
   重ね合せ精度	≦0.5 µm(|Ave|+3σ)
   装置サイズ／重量	（W）2,260×（D）3,460×（H）2,500mm / 5,500kg
   主要オプション	バックサイドアライメントシステム ウェーハ周辺露光システム ウェーハ周辺非露光システム 薄ウェーハ搬送システム GEM通信対応 インライン対応