自动化晶圆处理 > 晶圆搬运 > 低接触全自动晶圆传输机 - LCT1AS12

产品

描述

桌上型自动高性能水平晶圆转移工具。先进的低接触晶圆传输机可提供最洁净、可靠和快速的标准晶圆和易碎晶圆传输方式。

坚固的结构设计提供高可靠性和低维护成本，小体积的设计节省宝贵的洁净室空间。LCT1AS12兼容所有业界标准的FOUP、FOSB和SEMI标准金属和塑料开放式料盒。

LCT1AS12 特性：

触摸屏控制

FOUP 转 FOSB

交叉槽、晶圆重叠和晶圆存在的传感器映射检查

PVDF 涂层杆

一次传输 25 个晶圆

规格

晶圆尺寸300

电源要求220VAC 至 24VDC   3 安培  电源单独出售

吞吐量每小时 60 盒

重量75 磅

附加信息

装运重量165磅

装运尺寸19 × 35 × 20 英寸