日本vista智能真空计SC-10的产品介绍

可测量残留气体成分的真空计，

用于真空设备的健康检查！

・通过监测残留气体成分，可以监控真空设备的健康状况并立即发现异常情况。

・用一台装置即可测量真空度（总压）和气体成分（分压）。

SC-10智能真空计是我公司研发的一款全新的自动真空计，既可以测量残余气体成分，也可以测量全压真空。总压真空范围从大气压到10-7Pa的超高真空，当总压达到约50Pa时，气体成分的分压自动开始，从而可以测量约10-5Pa到10-6Pa。 可以在粗略压力范围内测量气体成分并检查是否有泄漏，而这对于传统气体分析仪来说是不可能的。

智能真空计可以测量残留气体的成分，因此即使在抽气过程中，您也可以快速检查真空设备的健康状况，例如泄漏和水蒸气脱气。下面两图显示了同一装置的不同排气数据，在图1中，显示了正常排气，水蒸气是主要成分，决定了总压力真空，而在图2中，氮气由于泄漏而停止。向下抽真空开始后约5分钟，如果继续抽真空约10分钟，氮气量超过水蒸气量，总压和真空度也停止下降。通过使用智能真空计，您可以快速发现仅通过监测总压力和真空度无法检测到的排气异常及其原因。

智能真空计不仅可以让您知道是否存在泄漏，还可以喷射氦气或氩气来定位泄漏位置。图3显示了在泄漏位置喷射氩气时智能真空计的数据，氩气增加而氮气减少表明存在泄漏。泄漏停止后，如图4所示，氮气和氧气减少，水蒸气成为主要成分，成为典型真空装置的残余气体成分。

无需其他操作，只需将其打开并连接到您的电脑即可。 SC-10内置的全量程真空计可测量从大气压到超高真空的总压力，当总压力达到约50Pa时，自动开始残余气体成分的测量（分压测量）。无需担心，当恢复到大气压时，气体成分测量将自动关闭。

残余气体测量在约 50Pa 的低真空下进行，因此可以在传统气体分析仪 (RGA) 无法操作的粗略压力下检测异常和泄漏检查。

由于没有灯丝，因此耐脏，无需担心断线。即使传感器脏了，您也可以轻松地自行清洁。

安装很容易。只需将传感器连接到真空设备，使用 USB 电缆将其连接到 PC，然后连接交流适配器即可。该传感器体积小、重量轻，甚至可以在 Windows 平板电脑上运行，因此您可以随身携带它，轻松测量压力、残余气体并检查是否泄漏。