德国FITOK气动隔膜阀DPT系列的产品介绍

简介

飞托克 DPT 系列两段式气动隔膜阀专用于半导体行业，其通过小流量和大流量之间的快速切换以缓和腔体内压力上升，用于防止流体急骤流入半导体制程机台的腔体等内部而造成微粒四处飞扬污染腔体。相对于传统的通过增加旁路管道来调节压力的方式，两段式气动隔膜阀更节省空间和成本。

特征

1.可在小流量和大流量间快速切换

2.钴合金隔膜强度高、耐腐蚀，使用寿命长

3.极少产生颗粒和死区

4.内部无螺纹和弹簧

技术参数