日本mitakakohki半导体非接触式三维测量装置NH-3SPs的介绍

可处理大型工件的

非接触式3D测量装置

NH系列实现了高精度和易用性，

解决了过去的测量问题。

・可在不损坏测量对象的情况下进行测量

・擅长测量陡峭的斜坡和大的凹凸不平

・直接测量镜面和透镜等透明物体

特征

1.非接触式测量可防止探头磨损

由于不存在非接触式探头磨损等连续变化，因此日常维护也更加容易。

2.可观察测量点

始终可以观察到测量点和工件表面的激光光斑。图像处理可实现边缘检测和圆测量。

3.高精度、高刚性XY平台

NH系列XY平台基于“高精度识别=坚固机构”的理念，经过精心加工和一一检验，实现高精度运行平行度。

4.出色的角度跟踪

高灵敏度自动对焦传感器可捕获表面的轻微反射光。能够直接精确测量陡坡和台阶。