日本adwillUV固化型BG表面保护胶带E系列的产品介绍
时间:2024-09-03 阅读:215
日本adwillUV固化型BG表面保护胶带E系列的产品介绍
紫外光固化BG表面保护胶带Adwill E系列是紫外光固化BG表面保护胶带,可在背磨过程中可靠地保护晶圆表面,防止因研磨水和研磨碎屑的渗入而污染晶圆表面。 UV照射显着降低胶带剥离时的粘合强度,因此不会对晶圆施加应力,可用于加工大直径和薄晶圆。
特殊工艺:DBG
按工艺分类的胶带应用
1.标准
2.超薄研磨(厚度>40μm)
3.微型泵(含墨点)
4.泵(高度<150μm)
5.高泵(高度<250μm)
兼容设备
-标准型(通用型)
1.设备可靠性高
晶圆表面污染极少,因此背面研磨后无需清洗晶圆。
2.保持高清洁度的生产系统
-薄型/凸块晶圆兼容型
1.抑制背面研磨后的晶圆翘曲,支撑凸块晶圆
2.提高晶圆厚度精度 (TTV*)