日本adwillUV固化型BG表面保护胶带E系列的产品介绍

紫外光固化BG表面保护胶带Adwill E系列是紫外光固化BG表面保护胶带，可在背磨过程中可靠地保护晶圆表面，防止因研磨水和研磨碎屑的渗入而污染晶圆表面。 UV照射显着降低胶带剥离时的粘合强度，因此不会对晶圆施加应力，可用于加工大直径和薄晶圆。

特殊工艺：DBG

按工艺分类的胶带应用

1.标准

2.超薄研磨（厚度>40μm）

3.微型泵（含墨点）

4.泵（高度<150μm）

5.高泵（高度<250μm）

兼容设备

-标准型（通用型）

1.设备可靠性高

晶圆表面污染极少，因此背面研磨后无需清洗晶圆。

2.保持高清洁度的生产系统

-薄型/凸块晶圆兼容型

1.抑制背面研磨后的晶圆翘曲，支撑凸块晶圆

2.提高晶圆厚度精度 (TTV*)