LH3000-2镭测科技双轴测量激光干涉仪
镭测科技双轴测量激光干涉仪LH3000-2专为双轴双驱机床测校开发2双轴测量激光干涉仪;LG1000镭测科技激光干涉仪双频激光器
镭测科技激光干涉仪双频激光器 LG1000系列双频激光器采用自主知识产权的Zeeman-双折射双频激光器,可定制1~20MHz的频差,出光功率不受频差的限制。无圆偏振光转线偏振光带来的非线性误差,在超精密加工以及光刻机超精密计量等领域具有广阔的应用前景。 参考价面议LCS镭测科技氦氖激光器
氦氖(HeNe)激光器是首先实现激光振荡输出的气体激光器。HeNe激光器输出的是Ne的光谱线,在可见和红外波段有多条,其中较强的是0.6328μm、1.15μm 和3.39μm 三条谱线。镭测科技氦氖激光器采取一些方法去抑制其中的两种,而使我们所需要的一种波长的激光得到输出。632.8nm(红光)因输出为可见波段的激光,实际应用较为广泛。 参考价面议LY1000镭测科技非接触式激光干涉仪
传统的激光干涉仪通常需要在被测目标上设置靶镜,以反射测量光线获得高精度的测量结果。镭测科技推出的镭测科技非接触式激光干涉仪LY1000,无需靶镜,仅利用待测工件反射甚至是散射的微弱光线即可实现高精度测量,是真正意义上的非接触式测量。 除可用于传统激光干涉仪适用的测量目标外,还可适合于微、小、轻、薄、毒、易变形等不适合安装靶镜的目标测量,如液面高度、半导体晶圆位置、微机械位移、材料膨胀系数、振动等。 参考价面议LS600镭测科技激光干涉仪
镭测科技推出的镭测科技激光干涉仪LS600单频激光干涉仪采用单频测量技术,拥有自主知识产权,技术指标达到或优于国外产品同等水平。通过与不同的光学组件结合,可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测,是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 参考价面议LH3000镭测科技双频激光干涉仪
镭测科技双频激光干涉仪LH3000,基于清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室多年研发的核心技术,拥有自主知识产权,技术指标达到或优于国外产品同等水平。LH3000通过与不同的光学组件结合,可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测,是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。 参考价面议LH2000镭测科技双频激光干涉仪
镭测科技双频激光干涉仪LH2000满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;以光刻机用激光干涉测量系统为基础,在保留高稳定性、高精度、高采样速率性能的同时,将光源和测量信号接收处理单元集成在主机里,一体化设计为用户提供更加方便、易用、友好的使用体验;典型频差7±0.5 MHz,测速高达2m/s。 参考价面议LH1000镭测科技双频激光干涉仪
镭测科技双频激光干涉仪LH1000专为光刻机配套开发的高精度测量系统;