HORIBA堀场 浓度监测仪  pH计  流量计  CS-131C-22-W2P

CS-131是半导体制造清洗过程中使用的SC-1溶液的高精度化学浓度监测仪，实现了高速响应和紧凑性。持续监测用于去除颗粒和有机物的SC-1溶液（NH 3 /H 2 O 2 /H 2 O）的每种成分的浓度。通过使用监视器输出进行反馈控制，可以将SC-1溶液的浓度维持在可接受的范围内并消除不必要的化学交换。我们还有一个集成冷却器型号，支持较宽的样品温度范围

HORIBA堀场 浓度监测仪  pH计  流量计  CS-131C-22-W2P

支持 300mm 工艺中的浓度管理，测量周期约为 2 秒 (*)

实现了约2秒的短测量周期(*)的高速响应。我们支持多槽和单槽清洁设备的详细浓度控制。（*不包括化学品更换时间或冷却时间）

紧凑的设计有助于节省清洁设备的空间。

与传统型号相比，紧凑的设计可减少约 2/3 (*) 的占地面积，有助于节省清洁设备的空间。可轻松集成到清洁设备中。

(*与本公司产品CS-220系列比较)

通过减少清洁过程中的批次缺陷来提高产量

通过使用监视器输出控制 SC-1 溶液的补充，实现了高度可重复的清洁。这减少了清洁过程中的批次缺陷并有助于提高产量。

全自动测量，轻松管理

。用户只需引入SC-1解决方案。测量是全自动的，因此测量开始后无需控制。此外，参考光谱测量使用空气，因此不需要水作为公用设施。

通过消除气泡措施，可以测量高温样品。气泡

在脱气罐中分离，测量过程中使用电磁阀最大限度地减少气泡进入流通池。此外，如果集成了冷却器，高温样本可以直接传递到监测仪。

采用24V DC，安全性高

采用低压24V DC供电，进一步提高了防触电安全性。此外，内置漏水传感器可实现紧急响应，例如在漏水时切断 SC-1 溶液的供应