产品简介

Asahi-spectra朝日分光光学镀膜测厚仪
这是一种光谱膜厚监测监测器，用于监测单色光气相沉积过程中基板光强度的变化。此外，还用于本公司的气相沉积设备，作为气相沉积部件制造商，在充满专业知识的膜厚监测设备中完成。

详细介绍

Asahi-spectra朝日分光光学镀膜测厚仪 OMD-1000

什么是OMD-1000？

这是一种光谱膜厚监测监测器，用于监测单色光气相沉积过程中基板光强度的变化。此外，还用于本公司的气相沉积设备，作为气相沉积部件制造商，在充满专业知识的膜厚监测设备中完成。

小叶

总结

增强的波长范围

传统型号具有滤光片式波长选择，但新产品采用了我们久经考验的光谱仪，现在可以选择任何波长。
薄膜厚度变化的信号从电压输出变为与个人计算机兼容的数字输出，控制机构由个人计算机的命令控制，而不是手动操作。此外，通过I/F直接控制与个人电脑相连的膜厚仪本体，没有像其他制造商那样的控制器，是一个非常紧凑的系统。

长处

集成光谱仪的紧凑型设计
提高抗噪性，实现可靠的膜厚监测（静电放电试验耐压±5kV）
可通过 PC 命令自动控制
控制器内置于接收器本体中，实现高性价比。

主机配置和接线

Asahi-spectra朝日分光光学镀膜测厚仪

产品详情

它连接到气相沉积设备上，并监控膜厚。
它可以如右图所示安装。

反射式监测

透射式监控
（泛光灯弯曲）

透射式监控
（直接连接到泛光灯）

产品组成

受光器

泛光灯

电源箱

散装法兰
* 包含在反光镜盒中

反光镜盒

透射镜盒

产品规格

型式	OMD-1000型
光谱仪类型	车尔尼-特纳单色
波长范围	保修范围：380~900nm工作范围：350~1100nm
波长分辨率	狭缝 0.5mm：4.2nm [546nm] 狭缝 1.0mm：8.3nm [546nm]
波长精度	±1.0纳米
最小波长馈电	0.1纳米
外部控制	RS232C接口
外部输出端子	DC0~2V （满量程）
采样间隔	100ms以上
静电放电试验耐压	±5 kV（实际 8 kV）
光源	12V100W卤素灯
光量安定性	±0.1%/h 以下
输入电压	AC100V 50/60赫兹
允许输入电压	交流85~132V
视在功率	340VA以下
使用环境	温度 10～35℃ 湿度 20～80％