玻璃涂层在于修改其光学特性，提升其太阳能传递特征或者改变其外观。无论是能量控制或者只是建筑要求，玻璃涂层工艺要求严格。

为达到薄膜涂层优化品质标准，工艺气系统须能提供高品质的涂层一致性。大规模涂层设备使用中如何简化维护也是重要的关注点。Bronkhorst了解玻璃涂层工业的需求，开发了成熟的方案用以满足大规模玻璃涂层应用的要求。

应用要求

高品质涂层的一致性、高效、低成本是玻璃涂层行业的其中几项要求。通过控制具体工艺气体，改善薄膜一致性。另外，如果控制是通过可获得稳定流形的仪表完成，重复性、快速响应以及优化性能就可达成。

为了降低成本，仪表应当可靠、耐用，24小时/7天不间断工作。

重要议题

l 重复性

l 响应时间

l 可靠性

l 紧凑型，节省空间

工艺方案

通过准确气体喷溅获得一致性的涂层是一种物理气相沉积（PVD）工艺，其在高压加速下将原子或分子由源转移到基材表面上。作用是使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使母体具有更好的性能。

喷溅的原子被推进到母体上，在其表面形成薄膜涂层。

工艺要求使用惰性气体：常用氩气，但是有些喷溅工艺采用氧化物或氮化物参与其中，这种情况下，惰性喷溅气体需加入氧气、氮气。

根据其特性，该工艺要求低压，但是工艺气体流量需足够离子轰击发生，否则不可能保持等离子。因此，工艺气体须精细控制，不然产品品质以及同质性的涂层将大打折扣。

带比例电磁控制阀，Bronkhorst质量流量控制器是这一应用的理想选择，可同时实现超快、平稳控制，优化稳定性和重复性。

杭州域势科技有限公司专注于为工业及科研客户提供流量、压力、真空检测及控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。