高真空隔膜泵的性能特性：  

    无污染的抽气或排气过程  

    抽速大，即使接近极限真空时仍具有很高的抽气速度  

    高真空隔膜泵功能在真空获得过程中能够自动调节为优化状态  

高真空隔膜泵的流量特性的选择  

    高真空隔膜泵的流量特性是指介质流过阀门的相对流量与位移(阀门的相对开度)间的关系，理想流量特性主要有直线、等百分比(对数)、抛物线和快开等4种。常用的理想流量特性只有直线、等百分比(对数)、快开三种。抛物线流量特性介于直线和等百分比之间，一般可用等百分比特性来代替，而快开特性主要用于二位调节及程序控制中，因此高真空隔膜泵特性的选择实际上是直线和等百分比流量特性的选择。  

    高真空隔膜泵流量特性的选择可以通过理论计算，但所用的方法和方程都很复杂。目前多采用经验准则，具体从下几方面考虑： 

    ①从调节系统的调节质量分析并选择；  

    ②从工艺配管情况考虑； 

    ③从负荷变化情况分析。  

    选择好高真空隔膜泵的流量特性，就可以根据其流量特性确定阀门阀芯的形状和结构，但对于像隔膜阀、蝶阀等，由于它们的结构特点，不可能用改变阀芯的曲面形状来达到所需要的流量特性，这时，可通过改变所配阀门定位器的反馈凸轮外形来实现。