激光加工,扫描光学系统和聚光光学系统
时间:2024-02-27 阅读:345
扫描光学系统和聚光光学系统
无掩模光刻,一般根据CAD数据进行直描加工。
根据扫描方法不同,可分为扫描光学系统和聚光光学系统。(也有两者结合的混合型)
扫描光学系统 | 聚光光学系统 | |
扫描方法 | 振镜扫描 | 平台扫描 |
扫描速度 | 高速 | 低速 |
扫描区域 | 小 | 大 |
聚光方法 | fθ透镜 | 物镜 |
光斑尺寸 | 数10μ 〜 数100μ | 亚微米 〜 数10μ |
焦点深度 | 大 | 小 |
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