1 一般透镜和棱镜的清洗
透镜和棱镜表面，通常均镀有氟化镁增透膜层。清洗时，不要用溶剂液浸泡，也不需将透镜或棱镜从镶框或镜架中拆出。只要用棉签蘸上少许清洗液，轻轻地在镜面上擦拭几遍，边擦边转动棉球。每擦过一次就要调换竹签上的棉花，氮气吹扫仪以免脏棉花二次污染镜面。也不要在镜面上往返擦拭。要从零件中心向边缘作圆周运动进行擦拭。要注意竹签的硬面不要刮破膜层，也要注意防止清洗液渗入镶框，以致无法擦拭或日久生霉。因此，擦拭时清洗液宜少不宜多。在清洗胶合透镜和镀银棱镜一类的光学零件时，要小心，氮气吹扫仪千万勿使清洗液渗入到胶合面和镀银面上。否则，日久将产生脱胶和脱银现象。
对于光学零件上的霉斑，初生时情况稍轻的，可在清洁过程中擦拭干净；霉污稍重的，可先用擦镜头药水擦拭，或用3204溶液（去霉防雾剂）清洗。氮气吹扫仪经擦拭后如仍有斑痕，可用水调碳酸钙粉慢慢地抛擦。抛擦透镜时要从镜面中心向边缘作圆周运动，不可任意擦拭，以免破坏球面曲率。然后放在自来水下边冲边擦，将使成象模糊，视场亮度很差。
2读数窗、测微尺和十字丝分划板等光学零件的清洗
这些光学零件的特点是都有分划刻线，在清洁过程中千万不能将它擦掉。现代的仪器，多数设计考虑较为周到，在这些具有划分刻线的光学零件上，大都胶有一层保护玻璃。清洁时只要注意防止清洗液浸入胶合面即可。
采用真空镀咯的读数窗及带分划的光学零件，即使没有保护玻璃的也可用常规的清洗方法。一般情况下，棉签蘸上少量的清洗液轻轻地擦拭，镀咯层是不会被擦拭掉的。但有些仪器刻划的情况不同；有的是直接刻划上色的；有的是照相制版的；有的也胶上了一层保护玻璃。在清洁这些仪器时要分别采取不同方法。
对于直接刻划上色的光学零件，防止将刻划的颜色擦掉。清洁的方法是用棉签蘸以少量清洗液，并将其压干些，然后沿刻划的垂直方向轻轻地擦拭。千万不要过分用力压紧刻划线，以免将颜色擦掉。
氮气吹扫仪对于照相制版的其感光层怕水，只能用鹿皮、棉花轻轻地干擦，或在光学零件略微呵一些雾气，轻轻揩擦。感光层一旦被擦掉，仪器即行报废。因此，近年来生产的这灯仪器，大都胶有一层保护玻璃。这时，也就不存在清洁的困难了。
当分不表底层是何种结构时，氮气吹扫仪好先在无分划线的边部轻轻拭擦，以免将分划线一下全擦掉。在一般情况下，铭层和感光层是容易区别的。只要从反射光方向观察，分划线（或读数窗底面）是白的，像镜面那样光亮的就是镀铭的；而感光层一般是呈黑色的工作状态。
3仪器放置要整齐，不得倒置。