高压汞灯通常用作紫外线光源。当充满汞的灯内部发生辉光放电时，汞蒸气被激发并发光，但这种光含有很高比例的紫外线。

还有一种称为准分子灯，它会产生受激二聚体并发射紫外线。这通常被用作准分子激光器，其之处在于它产生短波长的单光束，例如紫外线。

高压汞灯和准分子灯的共同点是它们会随着使用而老化。随着紫外线的恶化，紫外线的强度也会降低，

因此定期使用紫外线强度计检查强度非常重要，特别是在半导体行业等需要严格测量紫外线强度的行业中。

紫外线强度计采用硅光电二极管，通过受到紫外线的激发，使电流流过硅光电二极管来检测并量化紫外线。