腔室单元：腔室、闸阀、溅射源（或蒸发源或等离子体源）、观察口、样品台（可选：加热或冷却、射频应用）

排气装置：油回转泵、涡轮分子泵（或油扩散泵+阀门）、支架等。

真空管路：（带压力表口、排气阀、进气口）　

真空计1：皮拉尼真空计

真空计2：热阴极电离真空计（BA真空计）

真空计3：隔膜真空计

电源装置：溅射用直流电源（或溅射用射频电源+匹配盒或电阻加热蒸发用电源）

气体引入单元：质量流量控制器（或针阀组）

样品输送机器人（手动）

负载锁和转移室：（4 或 6 个室的室安装表面）盖子、粗抽阀、排气阀、底座