ULVAC爱发科 精品 便携式 高速光谱 椭偏仪
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UNECS-PortableULVAC爱发科 精品 便携式 高速光谱 椭偏仪

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具体成交价以合同协议为准
2024-11-23 11:41:06
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产地类别:进口;应用领域:环保,石油,能源,电子,电气;订货号:137**1702**3088王生;
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应用领域
环保,石油,能源,电子,电气
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深圳市京都玉崎电子有限公司

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产品简介

ULVAC爱发科 精品 便携式 高速光谱 椭偏仪

透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等)的膜厚、折射率、消光系数的测量

详细介绍

ULVAC爱发科 精品 便携式 高速光谱 椭偏仪 

ULVAC爱发科 精品 便携式 高速光谱 椭偏仪 


轻便紧凑的便携式


UNECS系列是一款光谱椭偏仪,可高速、高精度测量薄膜的厚度和折射率。测量方法,实现高速测量和紧凑化。我们提供广泛的产品阵容,以适应不同的应用,包括便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。

UNECS-Portable 是一款便携式型,重量轻、结构紧凑,测量单元重量仅为 2.2 kg,方便携带。包含一个用于小样品的简单固定载物台,并且可以从载物台上拆下以测量大样品。

用途

透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等)的膜厚、折射率、消光系数的测量

特征

高速测量:

采用快照方式,实现了最高速度20ms的高速测量。

兼容可见光谱:

波长范围可选择标准型(530nm~750nm)和可见光谱型(380nm~760nm)。

紧凑的传感器单元:

光发射/接收传感器仅由光学元件组成,没有旋转机构,并且非常轻便和紧凑,并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容:

我们拥有可适应各种应用的产品阵容,包括便携式类型、手动/自动平台类型、大型基板类型以及与大气/真空环境兼容的内置类型。

规格

波长范围530~750nm、380~760nm(任选其一)
光斑直径φ1mm、φ0.3mm(任选其一)
入射角度70º固定
膜厚再现性1σ = 0.1nm
膜厚范围1nm〜2μm
测量时间受光:20ms 〜 3000ms 演算:300ms
阶段固定式(φ150mm以下、可拆卸)
控制电脑笔记本型(带操作/分析软件)
机器构成测量本体(带固定载物台)、控制箱、光源装置
操作电脑(笔记本型)、使用说明书(CD)


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