分析型扫描电子显微镜的结构
时间：2024-01-29 阅读：424
结构：
电子光学系统：包括电子枪、电磁透镜和扫描线圈等部件。电子枪是发射电子的源，电磁透镜则用于汇聚电子并调节电子束的聚焦状态，而扫描线圈则使电子束在样品表面作有规则的扫描动作。
信号探测处理和显示系统：在电子束与样品相互作用的过程中，会产生各种信号，如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线等。这些信号被相应的探测器接收，转换为电信号，再经过放大和处理后传输到显像管或计算机系统，最终以图像的形式显示出来。
真空系统：为了确保电子束的正常运行和避免污染，分析型扫描电子显微镜需要在高真空环境下工作。真空系统的作用是排除空气，创造一个清洁的工作环境。
冷却循环水系统：为了防止设备过热，分析型扫描电子显微镜通常需要配备冷却循环水系统。该系统能够将设备运行过程中产生的热量带走，保证设备的正常工作。
电源供给系统：为分析型扫描电子显微镜提供所需的电源，包括供电、控制和调节等电路。