产品名称：OPTORUN光学镀膜机OTFC-900CBI/DBI

产品型号：OTFC-900CBI/DBI

产品介绍

OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。

性能特点

l 真空室尺寸：Φ600-1800mm

l 60点/80点式光学膜厚监控

l 使用均匀分布的高离子电流密度的离子源

l 搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上

l 利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

l 工件架可选择钟罩式或行星式

l 排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

技术参数

产地：日本

真空室：SUS304, φ900mm×1300mm (H)

工件架：φ 790mm

工件架转速：10 rpm to 30 rpm (可变)

光学膜厚控制：HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪

波长范围350nm到1100nm

反射式/透射式可选

水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源：电子枪2套

离子源：10cm RF 离子源

排气系统：机械泵+1个扩散泵+Polycold（或1个冷凝泵）

达到压力：7.0 × 10^-5 Pa 以下

基板温度：350℃

设备尺寸：4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.

电源：3相,200v,50/60Hz, 约80KVA

水流量：80升/分以上

空气压力：0.5MPa 以上

重量：约5400kg