NITTOSEIKO日东精工 （原 三菱化学）

表面电阻率测试仪

应用行业：用于液晶半导体、材料研究院等行业。

四点探针法是将四个针状电极[图3.3.2 四点探针]沿直线放置在样品上，如图[图3.3.1 使用四点探针测量]所示。

在两个外探针（A和D）之间流过恒定电流，测量两个内探针（B和C）之间产生的电位差以求出电阻。

接下来，通过将获得的电阻（R，单位：Ω）乘以样品厚度t（cm）和校正因子RCF（电阻率校正因子）来计算体积电阻率。

这样，四探针法和四探针法共用相同的测量系统，仅与样品接触的电极部分不同。

只需将四探针法的探针（四探针电极）压在样品上即可进行测量，与之前的四探针法相比，

无需在样品上形成电极，大大提高了工作效率。

[表3.3 四探针法与四探针法的比较] 四探针法产生的电场图像如[图3.3.3 四探针探针产生的电场]所示。