线性平台是配备线性伺服电机的工作台机构。通过使用线性编码器进行位置检测进行全闭环控制，成为机电一体化的直接驱动系统，实现精确的定位和运行性能。

通过组合多个轴，例如 XY 轴（由两个正交轴、垂直 Z 轴和旋转工作台的 θ 轴组合而成），可以创建 XY 平台、 XYZ
直线伺服电机是直接驱动电机，因此无需中间机构即可驱动。提高机械性能、节省空间、提高环保性、减少维护、可长距离行驶。

利用其特性，线性平台用于精密定位和运输应用。
对于精密定位应用，与滚珠丝杠、齿条和小齿轮以及皮带等输送机构相比，它可以实现高精度定位，并具有优异的速度稳定性。

线性平台的使用

线性平台用于要求定位精度和速度稳定性的精密加工设备和检测设备。

例如，它有以下用途：
・激光加工机、半导体曝光装置、探针台等定位精度要求高的设备・
镀膜机、图像检查设备等需要稳定速度性能的设备・
振动测试机、激励器、模拟器等通过往复动作抑制振动的设备需要高加速度

其他应用包括长冲程输送机、高速处理机和高速压力机中的送料机构。

线性平台原理

线性平台的结构由作为驱动源的线性伺服电机、检测位置的线性编码器以及作为运动部件引导机构的线性轴承组成。控制电机的伺服驱动器根据指令进行操作。

通常，线性平台在定子上具有磁铁单元，在动子上具有线圈单元。
通过使电流通过线圈，产生接地，并根据电磁感应定律，在线圈单元中沿着磁铁单元产生推进力，使动子产生行程。
此外，线性平台需要线性编码器来检测位置，通过使用高分辨率编码器的精确位置检测和伺服驱动器的全封闭控制来实现高精度和速度稳定性。

为了提高线性平台的精度，每个部件的安装条件和性能非常重要。
直线导轨等直线轴承的运行精度以及安装面的精度极大地影响着直线平台的直线度。
考虑到阿贝原理，线性编码器最好安装在靠近工作点的位置。
另外，线性伺服电机本身也成为热源。由于它是直接驱动机构，热量很容易传递到工件和线性编码器，并且精度可能会因热膨胀而改变。
因此，采取提高散热性能、增加冷却机构等措施非常重要。