UV-M03A

它是一种小巧轻便的手持式测量仪器。 它适用于管理生产车间配备紫外线灯的设备。 请用它来控制紫外线灯的紫外线照射量（照度和光强度）。

它是一种小巧轻便的手持式，可以轻松管理光刻设备的照度和光强度。

可以很容易地测量紫外线照度和光强度。

根据您正在使用（或计划使用）的光源和光刻胶的灵敏度选择 UV-25、35 或 42 的接收器。 但是，在电子电路（印刷电路）板的制造过程中使用时，建议选择UV-SN25、UV-SN35和UV-SN42，在半导体和液晶基板的制造过程中使用UV-SD25、UV-SD35和UV-SD42

测量数据可通过RS-232C通信输出传输。

它还具有模拟输出。

SN模式已被长期使用我们的光刻设备和辐照设备的客户广泛采用，并保证了工艺管理的连续性。

SD型推荐给在半导体和液晶基板的制造过程中已经使用其他公司生产的测光表的客户，以及需要确保与这些测量仪器的数据兼容性的客户（SD型也用于我们的光刻设备中的液晶基板的投影光刻设备和外围光刻设备），以及使用全新测光表的客户。

为了保证旧过程数据的兼容性，使用SN型为SD型提供指示值（在相同测量条件下测量用作校准辐射源的高压UV灯的365nm发射线时显示的照度值： mW/cm2）。

与可见光照度计（以LUX单位测量家庭、办公室、商店、博物馆等亮度的照度计）不同，适用于所有紫外线照度计的标准尚未建立（似乎正在为少数有限的应用进行JIS转换工作）。

即使各公司的相对光谱灵敏度是以365nm发射线为主要组成的光源测量照度而制作的，也从测量的峰值波长（相对光谱灵敏度特性的波长用1表示），短波长侧（约300nm~310nm）和长波长侧（约380nm~400nm）的上升开始。 下降的波长和它前后的曲线略有不同。

此外，在设计方面已经做出了努力，使感光器的感光角特性（据说是COSθ特性）更接近理想曲线，但现实情况是它们尚未实现。

接收器（可互换） UV-SD35 （UV-SN35）

测量波长范围 310~385纳米

测量照度范围 0.001~50mW/cm2

测量光范围 0.001~19999mJ/cm2

对准精度 在紫外线标准的1.5%以内±

重复性 1.5%±以内