UV-351

小型轻量、本体+感应器一体式UV能量计

可适用于UV曝光机与传送带的计测器。

特点：

1、可以管理UV曝光装置和UV传送带的光量和照度。

2、小型，轻量，轻薄。反射形。

3、结合机型和用途提供UV-351、UV-351-25、UV-351-42等多种选择

4、拥有光量检测、照度检测、照度峰值等多种测定模式。

5、高耐热，结构坚固。

型号：UV-351

测定波长范围：310~384nm

测定照度范围：0.1~100.0mW/Cm2

测定光量范围：1-19999mJ/cm2

合并精度：本社感应器误差在±1.5%以内

重复操作精度：1.5%以内

它是一种集受光部分和主体于一体的小型、轻便、手持式测量仪器。 该测量仪器与UV光刻设备和UV输送机兼容。

可以管理光刻设备、UV输送机等的照度和光强度。

它体积小、重量轻、薄且方便。

您可以根据应用选择 UV-351（相当于 UV-SD35）、UV-351-25（相当于 UV-SD25）和 UV-351-42（相当于 UV-SD42）型号。

可选择多种测量模式，如光强测量、照度测量、峰值照度测量等。

它具有金属机身，耐热，并具有坚固的结构。

SN模式已被长期使用我们的光刻设备和辐照设备的客户广泛采用，并保证了工艺管理的连续性。

SD型推荐给在半导体和液晶基板的制造过程中已经使用其他公司生产的测光表的客户，以及需要确保与这些测量仪器的数据兼容性的客户（SD型也用于我们的光刻设备中的液晶基板的投影光刻设备和外围光刻设备），以及使用全新测光表的客户。

为了保证旧过程数据的兼容性，使用SN型为SD型提供指示值（在相同测量条件下测量用作校准辐射源的高压UV灯的365nm发射线时显示的照度值： mW/cm2）。

与可见光的照度计和照度计（以LUX单位测量家庭，办公室，商店，博物馆等亮度的照度计和照度计）不同，适用于所有照度计和紫外线照度计的标准尚未建立（似乎正在为少数有限的应用进行JIS转换工作）。

即使各公司的相对光谱灵敏度是以365nm发射线为主要组成的光源测量照度而制作的，也从测量的峰值波长（相对光谱灵敏度特性的波长用1表示），短波长侧（约300nm~310nm）和长波长侧（约380nm~400nm）的上升开始。 下降的波长和它前后的曲线略有不同。

此外，在设计方面已经做出了努力，使感光器的感光角特性（据说是COSθ特性）更接近理想曲线，但现实情况是它们尚未实现。