主机是便携式半导体气体检测仪XPS-7II
目标气体 半导体气体
检测原理 电化学、电化学+裂解器
取样方法 萃取
质量 约1.3公斤
通过更换传感器单元，可以检测各种半导体气体。
用于有毒气体半导体工厂的气体泄漏检查和浓度测量。

特点：
■ 世界上*小的便携式气体检测仪，用于 NF3 检测。无需任何可选设备即可检测 NF3。
■ 校准后的气体传感器单元可在现场更换，减少维护工作。
■ 大液晶屏
■ 2路电源：干电池和交流电源（可选）
■ 小巧轻便
■ 警报声音的速度根据气体浓度而变化。

可选测量气体：

氨[NH3]，硅烷[SiH4]，二氯硅烷[SiH2Cl2]，砷烷[AsH3]，膦[PH3]，硒化氢【H2Se】，锗烷【GeH4】，氯[Cl2]，氯化氢【HCI】，氢氟化物【HF]，溴化氢【HBr】，一氧化氮【NO】，硫化氢【H2S】，一氧化碳【CO】，二硅烷【Si2H6】，氟【F2】，臭氧【O3】，三氟化氮【NO3】

中崎目前已获得CCS晰写速、SEN日森、EYE岩崎、USHIO牛尾、FUNATECH船越龙、HIKARIYA光屋、SERIC索莱克、REVOX莱宝克斯、ORIHARA折原、SONIC索尼克、YUASA尤安萨、EYELA东京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新东科学、SIBATA柴田科学、HORIBA堀场、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三丰、JIKCO吉高、NPM日脉、AND艾安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK电波工业、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世达、HAKKO白光、TOHNICHI东日、NITTO KOHKI日东工器等多家品牌授权认证。