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光刻烤胶机的技术介绍

时间:2024-05-29      阅读:1354

  光刻烤胶机是一款紧凑且易于使用的光刻热板。它用于光刻工艺的预烘烤,后烘烤和硬烘烤。该产品具有较高的烘烤速度,均匀性,较高的温度控制精度和高度可重复的实验结果。烘烤控制设计用于预烘烤,后烘烤和硬烘烤,以进行光蚀刻过程。
  光刻烤胶机的核心技术主要体现在其精确的光刻和烤胶工艺上:
  1、光刻工艺:利用光化学反应将电路图案精确地转移到硅片上。通过高精度的光学系统和精密的机械结构,实现了对光刻过程的精确控制,从而保证了电路图案的准确性和一致性。
  2、烤胶工艺:将光刻胶固定在硅片上,形成稳定的电路结构。通过精确控制烤胶的温度和时间,确保光刻胶能够均匀、稳定地附着在硅片上,从而提高产品的质量和可靠性。
  在使用该设备时需要严格遵守操作规程,注意温度和时间的控制,以及进行定期的设备维护,可以确保硅片上的感光胶得到处理效果,为后续的光刻工序打下坚实的基础。
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