光刻烤胶机采用什么技术工作的?
时间:2024-10-15 阅读:820
光刻烤胶机主要用于将光刻胶固定在硅片上,形成稳定的电路结构。它是通过精确控制烤胶的温度和时间,确保光刻胶能够均匀、稳定地附着在硅片上,从而提高产品的质量和可靠性。该设备被广泛应用于集成电路制造、光电子器件制造、微纳加工等领域。
光刻烤胶机的核心技术主要体现在其准确的光刻和烤胶工艺上。光刻工艺利用光化学反应将电路图案精确地转移到硅片上,而烤胶工艺则是将光刻胶固定在硅片上。光刻烤胶机通过高精度的光学系统和精密的机械结构,实现了对光刻和烤胶过程的精确控制,从而保证了电路图案的准确性和一致性。
博大精科提供的HTL-350光刻烤胶机(晶圆烤胶机)板表面温度均匀,温度100℃以内,精度0.1~0.3°C,200℃以内,精度%0.5℃,可选带有保温盖,整个加热区形成一个保温腔,大大提高温度均匀度,也起到防尘作用。可选择带有负压功能,表面带有若干吸附孔,可使被加热材料与加热板表面紧密贴合,起到受热均匀效果。