SONIC μLF-300S超声波微量液体流量计的资料
时间:2024-12-19 阅读:42
SONIC μLF-300S超声波微量液体流量计的资料
用于
IPA、纯水和化学液体等半导体制造过程中微观区域的流量管理
・测量1ml/min
以上的微小流量 ・通过数字信号处理
高精度测量微小流量 ・传感器部具有与流体的非接触式结构
・范围广
产品规格
■ 微液体流量计(传感器分离型)
微LF-300S
型 | μLF-300S + μLT-8I (1/8英寸) 或μLF-300S + μLT-4I (1/4英寸) |
测量原理 | 超声波传播时间差法 |
被测液体 | 纯水、水溶液、各种化学溶液 * 请提前检查水以外的液体 |
自适应流体温度范围 | 如果您在 15°C~80°C * 60°C 或更高温度下使用,请提前检查 |
流体压力 | 0.5MPa 以下 |
流体动力学粘度 | 100mm^2/sec 或更小 |
流量范围 | 0 ml/min ~ 1000 ml/min (μLF-300S + μLT-8I) 0 ml/min ~ 4000 ml/min (μLF-300S + μLT-4I) |
测量精度 | ±0.5%RD (1/8英寸 : 200 ~ 1000ml/min 条件: 常温、恒温水) ±1ml/min (1/8英寸: 0 ~ 199ml/min) ±0.5%RD (1/4英寸: 800 ~ 4000ml/min 条件:常温、恒温水) ±4ml/min (1/4英寸:0~ 799 毫升/分钟) |
重复性 | ±0.2%(纯品,液体温度±0.5°C,平均 30 秒) |
权力 | 直流 24V ±10% |
功耗 | 3.6W 或更低 |
重量 | 传感器 240 克,探测器 70 克 |
尺寸 WxHxD(mm) | 传感器 97 x 49 x 127 探测器 90 x 25 x 20(不含管) |
探测器 | |
管材 | PFA(含氟聚合物) |
管径 | 1/8 英寸外径:3.17 毫米,内径:2.17 毫米,1/4 英寸外径:6.35 毫米,内径:4.35 毫米 |
结构 | 相当于 IP65 |
包含电缆 | 5m,连接器连接 |
Input 部分 | |
数字输出 | 4 线 RS-422、4 线 RS-485 |
模拟输出 | 4-20mA(瞬时流量),负载电阻 500Ω 以下 |
积分脉冲输出 | 1ch (集电极开路) |
警报输出 | 1ch (集电极开路) |
输入 | 1ch(零流量设置或全清除) |
键入命令 | 4 输入按钮 |