铝膜测厚仪型号：BN/DT-LM

铝膜测厚仪

可测量范围与量程：被测薄膜尺寸 100mm±10%×200mm±10%

测量量程 厚度90～800Å（0.009～0.08μm） 方阻95～0.47Ω/□

精que度： 测量准确度 厚度 ±(20Å+2%读数)

方阻 ±0.15Ω/□（在300～500Å范围）

读数重现性 10Å (同一测量点) 注：1微米＝1000纳米＝10000埃

可测量范围与量程：被测薄膜尺寸 100mm±10%×200mm±10%

测量量程 厚度90～800Å（0.009～0.08μm） 方阻95～0.47Ω/□

精que度： 测量准确度 厚度 ±(20Å+2%读数)

方阻 ±0.15Ω/□（在300～500Å范围）

读数重现性 10Å (同一测量点) 注：1微米＝1000纳米＝10000埃

可测量范围与量程：被测薄膜尺寸 100mm±10%×200mm±10%

测量量程 厚度90～800Å（0.009～0.08μm） 方阻95～0.47Ω/□

精que度： 测量准确度 厚度 ±(20Å+2%读数)

方阻 ±0.15Ω/□（在300～500Å范围）

读数重现性 10Å (同一测量点) 注：1微米＝1000纳米＝10000埃