日本进口YATAKA半导体制造用压力控制设备高纯度气体用压力调节器R20系列

R20系列是专为高压、高纯气体设计的产品。这是旧ERS系列的后继产品，其基本结构是内置过滤器和与主体的螺纹连接，使其成为一种高度通用的产品，可以安装各种配件。

车身承插焊支持UJR等焊接接头规格。

功能高压

焊接规格 金属垫片接头 旋

入式规格 双压缩环

接头 气缸安装调节阀结构针型兼容气体气体以外的气体标准流量～60NL/分钟

调节压力 Max.0.99MPa

（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa） 

气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.00086MPa 

承受压力 22.2MPa（进口侧） 

CV值 0.08 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 螺纹规格（P）：1×10-9Pa·m3/s·He（真空方式）

焊接规格（W）：1×10-11Pa·m3/s·He（真空方式）

（但是，等级“C”（ N2气24小时封装测试） 

内部容积 4.67cm（不含3个压力表及接头） 

大量的 约1.29公斤