日本日酸TANAKA进口半导体压力调节器低压阀STⅤ50-3WE-30X03G-6UB6UB-T

适用于半导体、液晶、太阳能电池等各种半导体材料气体的减压。

产品范围广泛，从高压到微减压，以及高纯度和腐蚀性气体。

S-TORR调节器是在半导体工艺气体生产线中备受信赖的TORR调节器基础上开发的超高纯度气体用压力调节器。

●通过排除气体接触部的螺纹结构，标准实施电解研磨，实现了水分置换特性、颗粒减少。

●主体与接头的连接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金属密封结构。由于具有较高的外部密封性，即使在纯度较高的气体上也能放心使用。

●在一次室的流路内置过滤器，减少了内部泄漏的发生。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●STV50系列作为一次低压用中流量机型，广泛用于流量要求比STV30更高的低压配管、出口面板、液化气体的气缸箱等。

●作为腐蚀性气体用，准备了在接触气体的主要金属部分使用高耐腐蚀性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。