日本unozawa宇野泽用于清洁工艺的小型风冷干式真空泵KTS系列

“轻巧紧凑的风冷干式真空泵。” 高度耐用的根式，维护周期长，还可以排出水蒸气。

・易于安装在任何地方，无需风冷冷却水。

・轻量、紧凑

以铝合金为主要材料，打造出轻量、紧凑的泵。

・

转子是低振动、低噪音的旋转体，经过平衡，内置消音器，消除排气噪音。

・洁净真空泵

由于该泵是多级罗茨真空泵，内部没有滑动部件，因此可以获得洁净的真空，不会产生油的反扩散或颗粒的产生。

・水蒸气排出

冲洗空气机构（空气净化）可排出水蒸气，而不会在泵内滞留水分。可用于真空干燥等应用。

・维护周期长

由于泵内部没有滑动部件，因此可以长期稳定运行。

这可以延长维护周期并显着降低维护成本。

・由于采用高气密性密封电机，因此没有轴抽出部，保持了高气密性。

・分析设备、理化实验设备

・真空干燥设备

・真空脱气、消泡

、真空冷却

、气体循环、回收设备

・气体置换

・He检漏仪

・电子束加工机

・真空吸附输送

・真空包装机

・等离子清洗设备

、真空成型设备

、蒸发设备、溅射设备

、负载锁排气

、低温泵粗抽、再生

、各种粗抽、TMP背泵

、等洁净真空设备