日本tem-tech压力测量传感器用于粘性、泥浆 SE4000 特点介绍

适合粘性 CMP 浆料的压力测量。由于

没有死角，因此不存在 CMP 浆料硬化或气泡等问题。

PFA 传感器采用流通式结构，可兼容高粘度

-0.1或0~0.3、0.5、1MPa

兼容电流/电压输出、喇叭口、Super300等配件

接液部分：PFA

应用：泥浆

高精度陶瓷传感器与高纯度PFA隔膜的接合结构

⚫接液部材质为无需担心金属离子流出的高纯度PFA

⚫采用无封入液的驱动传感器，破损时不产生污染

⚫传感器和隔膜双重结构可实现1MPa的高压测量

⚫也可确认负压状况

日本tem-tech压力测量传感器用于粘性、泥浆 SE4000 规格参数

测定流体药液、超纯水、强酸、不因碱等腐蚀性流体而损害接触液部材质接触气体部材质PFA隔膜、PFA接触液部、聚丙烯上部壳体测定范围0—0.3、0.5、1MPa容许极限压力0.75MPa（测定范围0.3、0.5MPa）、1.25MPa（测量范围1MPa）电源电压DC24V±10%DC15~24V输出信号4～20mADC（2线式）0～5VDC、1～5VDC、0～10VDC（3线式）综合精度±1%FS（标准25°C、直线性、歇斯底里包括再现性）温度补偿范围15~40°C（无结冰、结露）动作温度范围0~80°C（无结冰、结露）温度特性±0.5%FS/°C（温度补偿范围内）相当于IP55保护等级※室内规格安装螺钉管、PT、NPT、浮动、超级300螺钉尺寸3/8”、1/2”、3/4”、1”（请咨询其他）电缆取出直连电缆、防水连接器（其他请咨询）附带电缆3m标准（2芯+屏蔽线）3m标准（3芯+屏蔽电缆）