日本pekuris脉冲电源调制器溅射靶材加热用 特点介绍

・等离子CVD用脉冲电源

・溅射用脉冲电源

・靶材加热用电源

・各种脉冲偏压用电源

・各种评价试验用

・其他

兼容瞬时高能量的

高性能脉冲电源产品

 日本pekuris脉冲电源调制器溅射靶材加热用 规格参数

受电电压单相AC100V 50/60Hz 

输入电压0~1kV（最大） 

输出电压0~1kV（最大） 

输出电流0~50AP（最大） 

输出能力600毫安直流 

重复频率1Hz~5kHz 

脉冲宽度1μS～200μS 

冷却方式内置风扇强制风冷 

保护功能过流保护电路、过温保护电路 

界面从外部远程控制 

尺寸（毫米）202（宽）x 140（高）x 280（深）（不包括突出部分） 

大约重量6.5公斤 

・等离子CVD用脉冲电源

・溅射用脉冲电源

・靶材加热用电源

・各种脉冲偏压用电源

・各种评价试验用

・其他

受电电压单相AC100V 50/60Hz 

输入电压0~1kV（最大） 

输出电压0~1kV（最大） 

输出电流0~50AP（最大） 

输出能力600毫安直流 

重复频率1Hz~5kHz 

脉冲宽度1μS～200μS 

冷却方式内置风扇强制风冷 

保护功能过流保护电路、过温保护电路 

它具有特殊的通电机制，可实现〜500℃/min的高速升温，并具有高冷却能力和快速降温的特点。其处理时间是热压、HIP、常压烧结等传统方法的，可以快速制备样品，用于微观结构控制烧结和新材料研发。

先进新材料开发压倒性优势

难烧结材料和多元素材料的易烧结性